根据观研报告网发布的《年中国正硅酸乙酯(TEOS)行业分析报告-行业深度研究与投资潜力分析》显示,正硅酸乙酯(TEOS)又名四乙氧基硅烷,化学式为Si(OC2H5)4,主要用作电器绝缘材料、涂料、光学玻璃处理剂;还用于有机合成,用于制造耐化学涂料、耐热涂料、有机硅溶剂以及精密铸造胶黏剂。正硅酸乙酯(TEOS)的合成
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正硅酸乙酯(TEOS)为制备SiO2气凝胶常用硅源
数据来源:观研天下整理电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量息息相关,电子级TEOS广泛应用于化学气相沉积工艺。TEOS在常温下为液态,低压化学气相沉积工艺通过调节温度来控制进入管道的TEOS量,TEOS在℃左右分解生成二氧化硅,得到的二氧化硅淀积膜厚度均匀性好、性质优良。
TEOS是常用于化学气相沉积的电子特种气体
数据来源:观研天下整理近年来,随着半导体、光伏等产业高速发展保证了电子气体的旺盛需求,国内电子特种气体市场潜力可期,同时有望带动TEOS需求迎来大幅增长。根据中国半导体行业协会数据,-年我国电子特种气体市场规模呈现增长趋势,年销售规模约为.6亿元,同比增长23.82%。其中,集成电路及器件领域占比44.2%;面板领域占比34.7%;太阳能及LED等领域占比21.1%。-年我国电子特种气体行业市场规模及增长情况
数据来源:观研天下整理不过,由于很多电子气体本身属于危险化学品,进口手续繁琐、周期长,且有性质不稳定自发分解等问题,所以造成我国电子气体市场大部分由国际巨头所垄断,尤其是在高端市场。虽然,近几年在国家政策大力支持下,国内如华特股份、南大光电等企业实现进口替代并能规模化生产供应,但是总体来说,国内电子特气行业仍处于国产替代进程中。我国已实现进口替代、规模化生产的特气公司及产品
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