据立木信息咨询发布的《中国氟硅酸制取氢氟酸市场调研与投资预测报告（版）》显示：利用各种工艺技术可以将磷肥副产的氟硅酸转变为氢氟酸还高纯度无水氟化氢，不仅有利于治理磷肥生产过程中的氟污染，而且有利于萤石资源的保护，以及有利于氟资源的有效可持续利用和氟化工的可持续发展。
氟硅酸制备氢氟酸工艺分为直接法和间接法。直接法就是将氟硅酸直接热解或是用浓硫酸分解制备氢氟酸；间接法即不是直接利用氟硅酸制备氢氟酸，而是先将氟硅酸转化成氟化钙、氟硅酸钙、氟硅酸钠、氟硅酸镁、氟化氢钾/钠和氟化铵等含氟盐，再将含氟盐热解或使用浓硫酸分解制备氢氟酸。
瓮福集团于年引进了瑞士戴维公司t/a氢氟酸中试技术，设计建设了2-3万t/a无水氟化氢工业生产装置，经过一系列的改造升级，于年实现工业化生产。
氟硅酸制氢氟酸是当前氟硅酸综合利用的难点和热点，难点在于氟硅酸转化为氢氟酸的工业化生产时，各工艺都存在技术缺陷。目前工业化最成熟的是瓮福集团的浓硫酸直接分解氟硅酸的工艺，该工艺需要妥善处理反应过程中产生的大量稀硫酸。
沉淀法生成氟化钙以及氟化镁等盐的方法可以最大程度地利用目前萤石法的工艺设备，但该工艺流程较长，且如何处理好副产的硫酸钙、硫酸镁等盐也是关键所在。
氨化法也是研究较多的方法，其工艺过程以及操作比较简单，且可以开发氨气循环的工艺，但系统中的氨气有腐蚀性对设备要求较高且浓缩过程耗能较大。