氮化硅陶瓷砖加工流程及在半导体应用

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氮化硅高温陶瓷材料

氮化硅陶瓷可代替合金刚制造陶瓷发动机,其工作温度可达℃~℃,密度也只有钢的一半左右,这对减小发动机自身重量也有重要意义。

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品牌:海合陶瓷,特性:高频高介陶瓷,微观结构:多晶,形状:方形

功能:固定用陶瓷,产品参数:*20*10MM,价格:元/件,产地:黑龙江伊春市

氮化硅陶瓷砖加工方法

加工流程及方法:超声波加工是利用工具作超声频振动,通过磨料悬浮液中的磨料去除工件材料超声波在硬脆材料加工中应用较早,是目前应用较普遍的一种加工方法特别是对那些不导电或电阻率高而不能采用电加工的工程陶瓷是一种有效的加工方法但超声波加工也存在如下缺点:加工工具通用性差,加工不同的孔、槽是用不同的工具,工具的更换比较麻烦;加工过程中工具质量变化,造成共振频率的游移,使加工速度和加工质量受到影响;3)加工工程陶瓷材料时,工具磨损严重,加工效率不高总之,用于加工工程陶瓷材料的方法很多,但由于工程陶瓷材料本身的特殊性能,目前所用的传统加工方法都不够理想。

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陶瓷的烧结温度对陶瓷结构的影响

反应烧结法是将硅粉或硅粉与氮化硅粉的混合料按一般陶瓷制品生产方法成型然后在氮化炉内,在1~℃预氮化,获得一定强度后,可在机床上进行机械加工,接着在~℃进一步氮化18~36h,直到全部变为氮化硅为止这样制得的产品尺寸精确,体积稳定。

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氮化硅陶瓷在半导体中的应用

氮化硅Si3N4陶瓷是一种重要的结构材料,它是一种超硬物质,本身具有润滑性,并且耐磨损;除氢氟酸外,它不与其他无机酸反应,抗腐蚀能力强,高温时抗氧化.而且它还能抵抗冷热冲击,在空气中加热到1,℃以上,急剧冷却再急剧加热,也不会碎裂.正是由于Si3N4陶瓷具有如此优异的特性,人们常常利用它来制造轴汽轮机轮机叶片、机械密封环、永久性模具等机械构件.如果用耐高温而且不易传热的氮化硅陶瓷来制造发动机部件的受热面,不仅可以提高柴油机质量,节省燃料,而且能够提高热效率.我国及美国、日本等国家都已研制出了这种柴油机。

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